AlGaInP系列材料的离子注入损伤及退火行为研究

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该实验中研究人员首次深入的研究了200keV的Zn<+>离子注入AlGaInP系列多元材料泊损伤及退火行为与注入离子剂量的关系,发现了些规律性的东西.实验结果已经说明,多元Ⅲ-Ⅴ族化合物材料的损伤及其退火行为要比二元材料复杂的多.但由于离子注入损伤及退火行为要比二元材料复杂的多.但由于离子注入损伤及退火行为与离子种类、能量、注入温度、剂量、剂量率、退火方式和退火条件多种因素有关,仅凭该实验中的工作还难以得到确切的解释.因此,对多元Ⅲ-Ⅴ族化合物离子注入损伤和退火行为进行深入系统的研究工作是很有必要的.
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