【摘 要】
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SnO2薄膜是一种集诸多优良性能于一体的功能材料，它具有广泛的用途；超声喷雾热分解工艺是一种在传统热分解工艺基础上发展起来的新型镀膜方法，具有低成本、高质量的优点。本文对基于超声喷雾热分解工艺的大面积SnO2薄膜的制备技术进行了研究。本论文主要完成了以下三方面的工作：第一、设计并实现了基于超声喷雾热分解工艺的大面积镀膜设备。目前在国内对超声喷雾热分解工艺的研究大多局限在小面积的实验上，而本论文最终
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SnO2薄膜是一种集诸多优良性能于一体的功能材料，它具有广泛的用途；超声喷雾热分解工艺是一种在传统热分解工艺基础上发展起来的新型镀膜方法，具有低成本、高质量的优点。本文对基于超声喷雾热分解工艺的大面积SnO2薄膜的制备技术进行了研究。
本论文主要完成了以下三方面的工作：
第一、设计并实现了基于超声喷雾热分解工艺的大面积镀膜设备。目前在国内对超声喷雾热分解工艺的研究大多局限在小面积的实验上，而本论文最终实现了20cm×20cm面积的均匀镀膜，因此具有一定的开创性。
第二、对超声喷雾热分解工艺制备SnO2：F薄膜做了工艺探索。分别研究了温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响；将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池，其效率达到了5.96％，而相同条件下采用日本进口的薄膜制备的电池效率为6.88％。
第三、和一般文献的研究方法不同，本论文对薄膜工艺过程进行研究时利用了计算机仿真技术。通过使用FLUENT软件对喷雾的气流场进行模拟，得到了流场各点详细的数据(比如速度、气压等)和整体直观的气流形貌，不仅大大加强了分析实验过程和原理的能力，而且验证了喷头设计的均匀性。
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