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在生物工程、临床医学、集成电路制造和航空航天等领域,对可以精确定量输送微小流量的装置及系统都有迫切需求。微流体泵、微流体阀和微流量传感器是微流体控制与输送系统中的关键部件。其中,微流体泵是微流体系统中必不可少的组成部分,在片上芯片、药物控释、液体冷却系统、胰岛素治疗系统等应用领域具有巨大的应用前景。由于压电驱动器具有高分辨率、快速响应、低功率消耗、易于控制、出力密度大以及控制精度高的特点,采用压电执行器的具有主动控制能力的微流体泵已得到深入研究。与有阀式压电泵相比,无阀压电泵的工作效率可以得到提高,