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微泵是微机电系统中微执行器的一种，被广泛应用于微药物输送系统、微全分析系统(μTAS)、芯片实验室、细胞分离、微流体混合、燃料供给。微泵按驱动方式可分为压电驱动、静电驱动、热气泡驱动、电动液压驱动、电渗驱动、气动和热气动等。压电驱动、静电驱动和热气动微泵都产生一定的机械变形和机械位移，而电渗驱动微泵的驱动能力较低。热气泡驱动微泵没有机械移动部件，避免了由于机械移动部件的污染和磨损导致的失效，提高了微泵的使用寿命。本文研制了一种基于电磁感应加热原理的热气泡驱动微泵，该微泵的研究弥补了传统热泡驱动微泵对液体泵送量较少的缺憾，使其在大功率与大流量的微流体驱动领域有着广阔的应用前景。论文主要内容如下: 首先，根据热气泡生成方式，对传统热气泡驱动微泵进行分类，分析了不同种类热气泡驱动微泵的工作方式及优缺点。为解决传统热气泡驱动微泵耗能高、流量低、寿命短、制作工艺复杂等缺点，提出感应加热的热气泡驱动微泵的研究方案。 其次，针对热气泡驱动微泵的工作机理，研究了电磁感应加热技术、热传导及相变等理论，为后续微泵的设计和性能测试提供了理论依据。 再次，根据无阀微泵的工作原理，设计了感应加热的热气泡驱动微泵。采用有限元仿真软件FLUENT建立微泵模型，对液体的流速及流量进行仿真分析，根据仿真结果，确定了微泵最佳的结构尺寸参数。采用有限元仿真软件COMSOL建立微感应加热器模型，通过仿真分析，研究了微感应加热器电磁场及温度场的分布状况。之后用FLUENT建立了微泵散热模型，对微泵的散热过程及散热效果进行了研究。 最后，研究了微泵制作所需的MEMS工艺，主要有电镀工艺和刻蚀工艺。根据微泵结构尺寸参数及关键工艺要求，编写了微泵制作工艺流程，采用MEMS工艺制作出微泵样件，搭建实验系统，对气泡的生长过程及微泵的流量进行了测试和分析。