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讨论了在离子注入机中的束流强度、束径、束发身角等几个参数的测量原量和方法，并简要介绍了已设计过的几种测试装置。
离子束传输中几个特征参数的测量
【摘 要】
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讨论了在离子注入机中的束流强度、束径、束发身角等几个参数的测量原量和方法，并简要介绍了已设计过的几种测试装置。
【机 构】
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产业部电子第48研究所(长沙)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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