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本文利用半导体激光器进行谐波探测气体物质浓度时,通常的方法是对半导体激光器的电流进行波长调制,但是波长调制的同时也伴随着振幅调制,且二者之间的相位差对调制光谱吸收信号的形状有很大影响.一般人们利用纯波长调制理论对调制光谱信号进行数据处理得到吸收信号的强度.本文给出频率调制和振幅调制同时存在情况下的调制光谱信号的数据处理.这种数据处理方法目前国内外还未见报道,数据处理的结果表明该方法不但大大提高了信噪比,更在很大程度上提高了测量的精度.