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该文工作由光刻胶加上YBa<,2>Cu<,3>O<,7－δ>(YBCO)薄膜作掩膜，以离子刻蚀方式在LaAlO<,3>(LAO)和SrTiO<,3>(STO)衬底上刻出沟槽型台阶、台阶角度可达45度以上，大部分区域在50至60度之间。
沟槽型衬底台阶的制备及其特性研究
【摘 要】
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该文工作由光刻胶加上YBaCuO(YBCO)薄膜作掩膜，以离子刻蚀方式在LaAlO(LAO)和SrTiO(STO)衬底上刻出沟槽型台阶、台阶角度可达45度以上，大部分区域在50至60度之间。
【机 构】
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大学物理学系
【出 处】
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第四届全国超导薄膜和超导电子学器件学术会议
【发表日期】
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1998年期
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