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在静电激励MEMS/NEMS吸合特性研究中,控制方程为六阶非线性微分方程。由于静电力和梁的弹性恢复力的耦合作用,其解曲线中存在奇异点,运用—般求解方法无法通过奇异点,此时引入微分求积法和拟弧长延拓法可顺利通过奇异的,求出整个解曲线。此力法可以广泛应明到类似高阶非线生微分方程中的求解中。