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本文采用阴极电沉积的方法,在2 ZnCl 的水溶液中,以KCl 为导电盐,金属Zn 片为阳极,分别以ITO/玻璃、玻璃/Mo/CIGS/CdS、玻璃/Mo/CIGS/CdS/i-ZnO 为阴极制备了ZnO薄膜,对沉积过程及薄膜物相进行了分析,并通过在ITO 导电玻璃上电沉积ZnO 薄膜,研究其透过率和禁带宽度等,获得了电沉积的合适条件.以此电沉积ZnO:Cl 为窗口层的CIGS太阳电池效率最高达到9.03%.