CVD低压金刚石薄膜生长的定量化分析

来源 :第三届全国机械工程材料青年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:renewmyself
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用非平衡热力学耦合模型研究了具体的金刚石生长体系:碳氢和碳氢氧体系,计算得到了这两个体系的非平衡定态相图。该相图与根据经典平衡热力学计算得到的相图有本质区别:相图中均存在金赐石生长区,经与收集的近20年在国际刊物上发表的近100篇文献报导的400多个实验点相比较,理论预言和实验事实符合良好,因而该相图对这两个体系的实验研究的指导是有普遍意义的。该文的理论计算结果对低压人造金刚石生长的理论和实验研究将具有指导意义。
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