【摘 要】
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光波导相控阵具有扫描角度大、响应速度快、驱动电压低等特点,是激光扫描技术重要的研究方向之一,但制作工艺、入射光分布及控制系统误差等非理想因素,会导致辐射光场发生畸
【机 构】
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西安电子科技大学物理与光电工程学院,陕西西安 710071
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光波导相控阵具有扫描角度大、响应速度快、驱动电压低等特点,是激光扫描技术重要的研究方向之一,但制作工艺、入射光分布及控制系统误差等非理想因素,会导致辐射光场发生畸变,降低衍射效率和扫描精度.基于平板光波导电磁理论及标量衍射理论,得到了光波导阵列衍射场模型,进而分析了由芯层厚度、折射率等因素引起的光场畸变.为了改善光场分布及光束质量,设计了相位恢复的波束优化方法:根据由远场光强恢复得到的出射面相位分布,对光波导阵列的加载电压进行修正,达到光束校准与优化的目的.仿真结果表明,所提方法恢复得到的相位误差为2.8％,验证了所提方法的有效性.
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