【摘 要】
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纳米流道器件可用于生物医学、物理学等领域的分子级研究。但纳米流道器件的制作门槛极高，仅有少数实验室能开展纳流控研究。我们提出了一种构建光学透明纳米流道器件的简
【出 处】
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2015年中国生物医学工程联合学术年会
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纳米流道器件可用于生物医学、物理学等领域的分子级研究。但纳米流道器件的制作门槛极高，仅有少数实验室能开展纳流控研究。我们提出了一种构建光学透明纳米流道器件的简单方法：使用紫外激光在镀有纳米金属膜的玻璃基片上刻蚀掉不需要保留的金属膜，留下的金属膜作为牺牲层，使用改性的液态透明环氧树脂将基片与带有孔的玻璃盖片粘贴，去除孔内的环氧树脂以暴露出牺牲层的末端并加热固化环氧树脂，将牺牲层作为阳极进行电化学腐蚀，牺牲层被去除后留出的空间就形成纳米流道，盖片的孔作为流道接口。已制作出20nm 深、能承受100 个大气压压力的流道，并成功通液(毛细扩散、电渗流、高压气体推动三种方式)。该方法简单、成本低廉、实用。
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