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本文对用电子束蒸发镀制的ITO薄膜的光电特性进行了测试,给出了可见光区的光谱特性及作为加热源时的热分布特性,通过对测试数据的拟合得到了电阻随温度变化的公式,该ITO膜的电阻的温度系数是0.0275欧姆每度.
ITO薄膜的光电特性
【摘 要】
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本文对用电子束蒸发镀制的ITO薄膜的光电特性进行了测试,给出了可见光区的光谱特性及作为加热源时的热分布特性,通过对测试数据的拟合得到了电阻随温度变化的公式,该ITO膜的
【机 构】
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航天科工集团三院八三五八所(天津)
【出 处】
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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2003年期
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