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基于提高可见光CCD图像传感器的填充因子和探测灵敏度,对516(H)×516(V)元石英微透镜阵列的设计及制作工艺过程进行了讨论.最后的测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓,较好的几何尺寸均匀性和光学性能,实时有效孔径比达到92.8﹪,大大提高了微透镜阵列的聚光效率.
提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究
【摘 要】
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基于提高可见光CCD图像传感器的填充因子和探测灵敏度,对516(H)×516(V)元石英微透镜阵列的设计及制作工艺过程进行了讨论.最后的测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表
【机 构】
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华中科技大学光电系(武汉)
【出 处】
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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2003年期
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