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该文采用蠕动运动的方式,以电致伸缩缩陶瓷微位移器做驱动器,电磁铁机构做可吸附于行走表面的保持器,设计制作了蠕动式微动直线自行走机构,由一台微型计算机控制行走的动作协调。该机械体积小、结构简单、运动精度高、动作可靠。测试实验表明,机构行走的最大步距可达14μm,步距误差小于0.5μm,具有良好的行走性能。