论文部分内容阅读
长寿命直流非转移电弧加热器研制
【机 构】
：
中国科学院力学研究所北京100190
【出 处】
：
第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
【发表日期】
：
2017年12期
其他文献
利用空心阴极真空电弧作为等离子体，本文设计了能够产生直流大电流电子束的等离子体电子源，研究了等离子体电子源的电子发射特性。结果 表明，空心阴极真空电弧等离子体电子