真空电弧等离子体电子源结构设计及电子发射特性研究

• 作 者: 许建平
• 机 构: 黑龙江工程学院,材料与化学工程学院哈尔滨150050
• 出 处: 第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
• 发表日期: 2017年12期
• 关键词: 空心阴极 等离子体电子源 真空电弧 束等离子体 电子发射

　　利用空心阴极真空电弧作为等离子体，本文设计了能够产生直流大电流电子束的等离子体电子源，研究了等离子体电子源的电子发射特性。结果 表明，空心阴极真空电弧等离子体电子源电子发射特性呈现出三阶段变化规律：高能电子引出的快速增加、大量低能电子引出的缓慢增加及稳定阶段。