硅薄片材料少子寿命曲线的计算机实时测量

• 作 者: 褚幼令 王宗欣 陈乃东 唐剑平
• 机 构: 大学
• 出 处: 1998年全国半导体硅材料学术会议
• 发表日期: 1998年期
• 关键词: 薄片材料 少子寿命 寿命曲线 微型计算机 寿命测量 实时测量系统 数据接口卡 信号干扰 系统设计 方法 测量精度 示波器 半导体 噪声 原理 显示

该文介绍了硅薄片少子寿命曲线的计算机实时测量系统，就其基本原理、系统设计、可行性等方面进行了分析。该方法的提同，改变了由于用示波器观察少子寿命时的显示不稳定、噪声信号干扰强、一般只读取少数几个点等使少子寿命测量精度无法提高的缺点。该方法是微型计算机及高速数据接口卡在半导体少子寿命测量方面的一个实用实例。