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该文概述了双电测法的三种组合模式，简要说明了三种组合模式测量电阻率时与材料厚度的关系；并对第一种组合模式（Ｐｅｒｌｏｆｆ法）测量电阻率的演变过程作了具体介绍。
硅材料电阻率测量双电测方法的三种组合模式
【摘 要】
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该文概述了双电测法的三种组合模式，简要说明了三种组合模式测量电阻率时与材料厚度的关系；并对第一种组合模式（Ｐｅｒｌｏｆｆ法）测量电阻率的演变过程作了具体介绍。
【机 构】
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计量科学研究院
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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