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近年来人们将纳米压痕仪改进成压缩实验仪器,通过聚焦离子束(FIB)技术制备出微米尺度甚至纳米尺度小柱样品进行实验,研究材料的尺度效应.实验结果显示材料在微米和纳米尺度表现出很强的尺度效应.本文介绍了微压缩实验的工作原理及实验分析,并通过有限元方法分析微压缩实验过程中样品锥度对样品受力和实验结果精度的影响.