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【摘 要】
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本文在不同的基低偏压下，采用直流溅射石墨靶的方法制备了非晶碳薄膜。结果显示，随着基底偏压的升高，薄膜中的sp2石墨片状结构含量增加，同时变得更加有序;当基低偏压进一步升高时
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所,兰州甘肃730000中国科学院兰州化学物理研究所,兰州甘肃730000;兰州大学物理系,兰州甘肃730000
【出 处】
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2009全国青年摩擦学学术会议
【发表日期】
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2009年5期
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