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【摘 要】
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采用磁控溅射技术在单晶硅衬底上沉积Ti、Cr、C类金刚石薄膜，用原子力显微镜(AFM)和俄歇能谱仪(AES)表征薄膜的微观形貌和成分分布，用纳米压痕仪测定薄膜的硬度和弹性模量，并用U
【机 构】
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装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室,北京100072
【出 处】
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2009全国青年摩擦学学术会议
【发表日期】
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2009年5期
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