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将该技术应用于ＨＥＭＴ器件制作也初试成功。
深亚微米X射线光刻的HEMT器件制作中的应用
【摘 要】
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将该技术应用于ＨＥＭＴ器件制作也初试成功。
【机 构】
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科学院微电子中心
【出 处】
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第九届全国化合物半导体.微波器件.光电器件学术会议
【发表日期】
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1996年期
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