论文部分内容阅读
本文探索了一种掺杂型聚合物SU-8/DR1,作为可用于制备电光开关波导的电光材料。在质量比为5:1的SU-8与稀释液的混合溶液中掺入1.8%(wt%)的分散红(DR1),利用简单反射法测量材料薄膜的电光系数,发现经紫外曝光交联后样品的电光系数达到40pm/V以上,比曝光前增大25pm/V。使用椭偏仪测量了SU一8/DRI及SU-8光刻胶的折射率和曝光时间的关系,SU-8/DR1膜厚和旋涂转速的关系。根据以上结果选择合适的工艺条件,利用有效折射率法设计矩形单模波导。