微纳米压印成形技术制备聚合物光波导的初步尝试

• 作 者: 王凌华[1] 韩秀友[1] 金婷婷[1] 张希珍[1] 蹇锡高[2] 赵明山[1]
• 机 构: 大连理工大学物理与光电工程学院大连116023大连理工大学光子技术研究中心大连116023大连理工大学光子技术研究中心大连116023大连理工大学化工学院高分子材料系大连116012
• 出 处: 全国第四届塑料光纤、聚合物光子学会议
• 发表日期: 2008年7期
• 关键词: 聚合物 微纳米压印技术 表面粗糙 分辨率 光波导

在成功制备出一类具有低光学损耗、良好成膜特性和可热/光双固化的纯液态高性能聚合物光波导材料的基础上，对紫外微纳米压印成形技术制备聚合物集成光波导工艺进行了实验研究，采用光学显微镜和扫描电子显微镜对模具和压印波导进行了观测，结果表明制备的波导与模具上的图案能很好的吻合，同时具有很好的表面光洁度和与传统光刻工艺相比较小的表面粗糙度。对目前存在的问题进行了讨论分析并给出了进一步研究的建议。