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纳米压印微复制技术具备模具制备技术的优点，非常适合于各种聚合物类微光学器件的批量低成本制备，本文首先介绍了聚合物微透镜阵列、聚合物光子晶体薄膜和聚合物光波导等典型微光器件的纳米压印微复制技术方法,然后重点论述了一种新型聚合物柔性光栅光波导器件的微复制制备方法，给出了相应的技术路线和加工工艺方法，进行了具体的试验研究，得到了满意的结果。