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本文介绍了一种Mach—Zehnder型电光调制器的行波电极，针对有机无机复合型电光材料加载条形结构的M—Z光波导，设计了共面波导CPW(co-planarwaveguide)行波电极，成功地制备了电光调制器的CPW行波电极，利用矢量网络分析仪对其进行了测试并分析了Smith圆图以及S21传输曲线等电极参数。