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论文提出了一种对温度不敏感的硅基阵列波导光栅(AWG)的结构。该结构引入狭缝波导结构，在AWG的阵列波导区使用狭缝波导代替传统的单模硅波导。狭缝波导的狭缝处填充具有负热光系数的聚合物材料，有效解决了传统的硅基AWG中心波长随温度产生严重漂移的问题。
基于狭缝波导的聚合物辅助热无关硅基阵列波导光栅
【摘 要】
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论文提出了一种对温度不敏感的硅基阵列波导光栅(AWG)的结构。该结构引入狭缝波导结构，在AWG的阵列波导区使用狭缝波导代替传统的单模硅波导。狭缝波导的狭缝处填充具有负热光
【机 构】
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浙江大学微电子与光电子研究所，杭州，310027
【出 处】
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全国第四届塑料光纤、聚合物光子学会议
【发表日期】
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2008年7期
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