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本文介绍了作者在新型真空微电子压力传感器研究方面取得的进展，并探讨真空微电子压力传感器的封装技术。
新型真空微电子压力传感器及其封闭技术研究
【摘 要】
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本文介绍了作者在新型真空微电子压力传感器研究方面取得的进展，并探讨真空微电子压力传感器的封装技术。
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室（北京）
【出 处】
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第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会
【发表日期】
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1999年3期
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