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本文提出了一种检测三维磁场的真空微电子磁敏传感器。该传感器采用Spindt阴极隈列作为电子源，阳极分为五个区域，以便检测发射电子在磁场作用下的偏移。通过不同阴极电压下电子束流的偏移量的差值，可求出器件所在位置磁场的三个分量。对传感器的灵敏度和误差进行了模拟计算，并研究了它们与阳极电压、阴—阳极间距及阳极电压变化步长的关系。结果表明该传感器的灵敏度约为800℅，相对误差为3℅。