【摘 要】
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新一代拖动分子泵￣多重拖动分子泵具有结构简单、工作压强和抽气流量比传统涡轮分子泵高２个数量级、粘滞损耗较低、并可制造抽速２万升／秒以上的超大型分子泵等一系列优点，预期在各
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新一代拖动分子泵￣多重拖动分子泵具有结构简单、工作压强和抽气流量比传统涡轮分子泵高２个数量级、粘滞损耗较低、并可制造抽速２万升／秒以上的超大型分子泵等一系列优点，预期在各种真空应用领域中将会获得广泛的应用。该文将介绍这种新颖分子泵的原理、性能及其应用领域，着重讨论该泵与传统分子泵、罗茨泵、扩散泵以及扩散泵￣罗茨泵机组之间的性能比较。最后，简要讨论了这种新泵的发展方向。
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