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氧化铟锡膜(ITO)具有良好的导电性能.在可见光范围内有高的透射率和高的红外反射率,化学稳定性好,机械强度高,已被广泛应用在各种光电器件领域,本文主要研究了真空热处理对ITO薄膜导电性能的影响。
真空热处理对ITO薄膜导电性能的影响
【摘 要】
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氧化铟锡膜(ITO)具有良好的导电性能.在可见光范围内有高的透射率和高的红外反射率,化学稳定性好,机械强度高,已被广泛应用在各种光电器件领域,本文主要研究了真空热处理
【机 构】
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复旦大学材料科学系
【出 处】
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上海市真空学会第七届学术年会
【发表日期】
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2000年期
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