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该文建立了基于表面反应机理的金刚石气相生长动力学模型，求出了其演化方程的稳态解，细致刻划了不同Ｃ／Ｈ流比条件下金刚石生长与无序碳沉积的竞争过程，结果与Ｏｌｓｏｎ的实验基本相符。
低压气相生长金刚石薄膜的动力学模型
【摘 要】
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该文建立了基于表面反应机理的金刚石气相生长动力学模型，求出了其演化方程的稳态解，细致刻划了不同Ｃ／Ｈ流比条件下金刚石生长与无序碳沉积的竞争过程，结果与Ｏｌｓｏｎ的实验基本相符。
【机 构】
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大学物理系
【出 处】
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'96中国材料研讨会
【发表日期】
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1996年期
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