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MoO<,2>陶瓷薄膜的电阻-温度特性
MoO<,2>陶瓷薄膜的电阻-温度特性
来源 :第九届全国特种陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tulip126
【摘 要】
:
采用以钼酸铵为原料的溶胶-凝胶法,在Al〈,2〉O〈,3〉陶瓷基片上合成主晶相为MoO〈,2〉的半导体陶瓷薄膜。其表面电阻率为数十Ω/□,在室温 ̄700℃范围,电阻率随温度的变化极其平缓。
【作 者】
:
徐明霞
徐廷献
【机 构】
:
大学材料系
【出 处】
:
第九届全国特种陶瓷学术年会
【发表日期】
:
1996年期
【关键词】
:
陶瓷薄膜
表面电阻率
溶胶-凝胶法
陶瓷基片
主晶相
钼酸铵
半导体
原料
温度
室温
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采用以钼酸铵为原料的溶胶-凝胶法,在Al〈,2〉O〈,3〉陶瓷基片上合成主晶相为MoO〈,2〉的半导体陶瓷薄膜。其表面电阻率为数十Ω/□,在室温 ̄700℃范围,电阻率随温度的变化极其平缓。
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