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应用磁控溅射系统沉积碳氮薄膜材料。发现实验参数中衬底温度对薄膜的沉积率，含氮原子百分比，结构，性质有显著影响。衬底温度３５０℃时，碳氮薄膜具有ｔｕｒｂｏｓｔｒｔｉｃ类结构，其硬度，应力最大。
氮化碳薄膜的结构、应力、硬度及其关系研究
【摘 要】
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应用磁控溅射系统沉积碳氮薄膜材料。发现实验参数中衬底温度对薄膜的沉积率，含氮原子百分比，结构，性质有显著影响。衬底温度３５０℃时，碳氮薄膜具有ｔｕｒｂｏｓｔｒｔｉｃ类结构，其硬度，应力最大。
【机 构】
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大学材料科学系(长春)
【出 处】
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1998年中国材料研讨会
【发表日期】
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1998年期
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