【摘 要】
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空间环模设备针对低气压放电和微放电试验需求,需要在真空容器内建立稳定的低气压环境,低气压环境的模拟与控制技术是该设备的关键技术.本文根据静态保压和动态流量平衡
【机 构】
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北京卫星环境工程研究所,北京,100094
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空间环模设备针对低气压放电和微放电试验需求,需要在真空容器内建立稳定的低气压环境,低气压环境的模拟与控制技术是该设备的关键技术.本文根据静态保压和动态流量平衡的原理,介绍了气体压力在1300Pa～300Pa 低气压放电区域,300Pa～6.65Pa 过渡区域,6.65Pa 以下的微放电区域内低气压控制方法,重点研究了气压较难控制的微放电区的压力控制技术,给出了控制有效抽速平衡增量气体实现低气压控制的方法,并研究了有效抽速的控制精度对压力控制的影响,分析结果显示在满足抽气能力、压力测量与分辨精度的前提下,提高有效抽速的控制精度、缩短响应时间可以提高压力控制的偏差、稳定性.该设备采用了真空调节阀控制有效抽速,并得到了调节阀位置型积分项分离的数字PID 控制算法,最后通过工程法整定了PID 参数.运行结果：压力控制偏差±1Pa.
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