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用化学气相沉积法在碳／碳复合材料表面沉积ＴｉＣ涂布，研究了工艺参数对ＴｉＣ涂层的相组成和表面形貌的影响，分析了化学气相沉积ＴｉＣ涂层过程的基本规律及沉积机理。结果表明；提高沉积温度和Ｈ＜，２＞／ＣＨ＜，４＞的流量化，有利于减少涂层的游离碳；随着沉积温度的升高，ＴｉＣ涂层颗粒尺寸增大，均匀程度下降。