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本文报道了用化学气相沉积(CVD)方法生长硒化锌(ZnSe)多晶材料的生长方法,对晶体生长过程中工艺参数进行了实验研究,讨论了CVD方法生长硒化锌(ZnSe)多晶材料各种因素的相互影响.
CVD法长生ZnSe多晶材料的研究
【摘 要】
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本文报道了用化学气相沉积(CVD)方法生长硒化锌(ZnSe)多晶材料的生长方法,对晶体生长过程中工艺参数进行了实验研究,讨论了CVD方法生长硒化锌(ZnSe)多晶材料各种因素的相互影
【机 构】
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中非人工晶体研究院(北京)
【出 处】
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中国硅酸监学会第二届青年学术讨论会
【发表日期】
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2000年期
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