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随着微纳米技术的发展，集成电路、微机电系统及纳米微器件广泛应用到航天航空、生物医学等领域，其可靠性研究越来越引起研究者的广泛关注，微纳米尺度力学性能测量可以为微器件的可靠性研究提供实验依据.数字相关方法是一种可应用到微纳米尺度应变测量的光学测量方法，而其需要测试材料表面含有任意随机散斑，对于不同的材料可以选择不同的制斑工艺.本文主要介绍数字图像相关方法测量微区变形，概括总结了针对不同材料和不同尺度大小下的微纳散斑的制作方法.发展了一种基于纳米颗粒粉末溶液离心甩胶法的微散斑的制作工艺，通过平均强度梯度(MIG)对在光学显微镜下记录的散斑图进行评价，得出散斑的最佳制作工艺参数为，纳米颗粒粉末和环氧的质量体积比(0.2mg∶3ml)，离心固化时间为28分，甩胶速度为3000转/分.将该工艺应用到PET薄膜和光纤器件表面变形载体的制备，结合DIC技术分析微区变形，获得了满意的测试结果.