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针对液体中痕量化学战剂快速检测需要，提出一种热解析一离子迁移率谱快速检测方法.采用MEMS技术设计制备用于离子迁移率谱仪的膜片型热解析器，其具有加热迅速、功耗低、适合现场工作等优点.利用微型热解析器-离子迁移率谱仪实现水中甲基磷酸二甲酯(DMMP)和二乙基氨基乙醇(DEEA)的快速检测，得到这两种化学战剂模拟剂的约化迁移率分别为1.74 cm2V-1s-1和1.87cm2V-1s-1.优化热解析温度后，该热解析-离子迁移率谱快速检测方法对水中DMMP和DEEA的检出限分别为0.66和0.58ng.