SiH#-[4]和O#-[2]体系LPCVD SiO#-[2]的设备及工艺

来源 :第四届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xzm191213
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
其他文献
该文主要介绍营口港港区生活污水处理场的工艺流程,设备概况和工程特点。
一rn那天晚上,我跟李丹讲了站里重新调整了我的工作,要安排我去机场远台值班了.我说,其实自己也想到基层业务单位好好锻炼锻炼,这两年整天呆在通信机关里很无聊.李丹听了差点
会议
玉米是我市粮食生产的主要作物之一,占全市播种面积的70%左右。玉米产量的高低直接左右我市粮食的单产和总产,左右全市农民的经济效益和社会效益。近几年来,在我市农业生产上
期刊
该研究提供了一种在表面活性剂存在的前提下采用化学沉淀法制备纳米氧化钴的方法,所得产品经XRD、TEM证明为平均粒径为22纳米的氧化钴,并对其影响因素进行了初步探讨。
该文介绍了自行研制开发的连续式氧化钴粉煅烧炉的工作原理、结构特点、投产情况以及改进建议。