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该文等离子体基离子注入的基本特征，近年来的进展，并与等离子体化学热处理进行了比较，提出了等离子体基材料表面改性的发展的新方向。
等离子体基离子注入与等离子体化学热处理
【摘 要】
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该文等离子体基离子注入的基本特征，近年来的进展，并与等离子体化学热处理进行了比较，提出了等离子体基材料表面改性的发展的新方向。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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首届全国耐蚀耐磨技术及工程应用研讨会
【发表日期】
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1998年期
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