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本文对RADFETsγ剂量探测器部分关键工艺进行了研究。文章介绍了RADFETsγ探测器的一些工艺对性能的影响,并对一些解决方法提出了讨论.
RADFETsγ剂量探测器部分关键工艺对性能的影响
【摘 要】
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本文对RADFETsγ剂量探测器部分关键工艺进行了研究。文章介绍了RADFETsγ探测器的一些工艺对性能的影响,并对一些解决方法提出了讨论.
【机 构】
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防化研究院第二研究所,北京,1044信箱203分箱,102205
【出 处】
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全国第五届核仪器及其应用学术会议
【发表日期】
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2005年期
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