论文部分内容阅读
柔性支承有结构紧凑,无摩擦,无间隙,以及高分辨率等特点,在纳米级机床等高精度、高带宽仪器中起着决定性的作用.以往大口径主镜轴向支撑一般采用球副,但这种结构有其自身缺点,本文用柔性铰链代替以往的半运动副作为主镜的轴向支撑,分析了柔性支撑与半运动副支撑结构间的差异和优缺点.
大口镜主镜柔性支撑设计
【摘 要】
：
柔性支承有结构紧凑,无摩擦,无间隙,以及高分辨率等特点,在纳米级机床等高精度、高带宽仪器中起着决定性的作用.以往大口径主镜轴向支撑一般采用球副,但这种结构有其自身缺点
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
：
第八届全国激光科学技术青年学术交流会
【发表日期】
：
2005年期
其他文献
220bar二极管叠阵耦合系统采用的是微柱透镜阵列,通过合理的设计微柱透镜对泵浦光的准直系统,在泵浦区得到近平顶分布的光斑,同时也减小了激光介质在工作时的热透镜效应和热
离子束溅射沉积的HfO2薄膜为微晶结构,其晶粒尺寸小于10nm.实验结果表明,氧分压是影响薄膜表面粗糙度的主要因素,过量的氧导致膜层表面形成大量的坑洞,造成散射损耗的增加.一
会议
在高重复频率二极管泵浦Nd:YAG激光双通放大器中,分别应用融石英玻璃棒和丙酮作为相位共轭镜取代传统的0°全反镜,在重复频率400Hz、注入脉冲宽度20ns条件下形成了稳定的光学
会议
本文描述了远红外FEL混合型摇摆器的改进及调试工作,分析了该摇摆器存在的问题,给出了改造依据和改造措施.数值模拟及磁块优化组合结果显示,改造后的摇摆器有望实现大于3000G
国家住房保障制度的建立和完善,离不开庞大的金融配套服务体系的支撑和建设。建立多元化的住房保障投融资体系,拓宽投融资渠道,也是摆在建设银行面前的业务课题。在同业竞争
基于通过闭环控制器调整合成姿态角的融合原理,以DSP实现测量带宽高低不同的两种惯性传感器(动力调谐陀螺仪和角速率传感器)的数据融合.实验结果表明融合数据除了在交接频率1
会议
In many animals and insects, hearing is very acute to the faintest of sounds; the underlying mechanism can be explained by self-tuning. Recently, signal respons
地平式光电跟踪系统存在天顶跟踪盲区;X-Y式跟踪系统可跟踪高仰角运动目标,但其跟踪范围受限;改进X-Y式跟踪系统与X-Y式相比有更大的跟踪范围,但视轴偏心引入了系统误差;三轴