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离子束溅射沉积的HfO2薄膜为微晶结构,其晶粒尺寸小于10nm.实验结果表明,氧分压是影响薄膜表面粗糙度的主要因素,过量的氧导致膜层表面形成大量的坑洞,造成散射损耗的增加.一定厚度的SiO2保护膜提高了反射膜的激光损伤阈值,改善了薄膜表面的激光损伤破坏形貌.制备的HfO2/SiO2多层膜抗DPL激光损伤阈值的峰值功率密度＞1061MW/cm2(波长532nm,脉宽80ns).