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全光型微机械谐振器是微机械技术与集成光学相结合的产物，它采用悬臂梁与脊型波导相结合的结构。对梁区进行光激励，输入、输出波导间的耦合效率随相互间的相对位移的增大而减小。对谐振器进行光激励实验，在空气中能观测到明显的谐振现象，新型带尾纤的全光型微机械谐振器具有固定的激励光纤与输入、输出光纤、使谐振器能摆脱平台工作，有很好的应用前景。