【摘 要】
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本文采用HTCC工艺制备了NOx传感器片芯,研究了烧结工艺中升温速率、峰值烧结温度、峰值保温时间和烧结气氛对传感器氧泵电极性能的影响.结果表明,在排胶阶段采用空气烧结,设
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本文采用HTCC工艺制备了NOx传感器片芯,研究了烧结工艺中升温速率、峰值烧结温度、峰值保温时间和烧结气氛对传感器氧泵电极性能的影响.结果表明,在排胶阶段采用空气烧结,设定升温速率为2℃/min,306.6℃保温7h,在高温阶段采用氩气保护,峰值烧结温度1500℃保温3h烧结后的氧泵电极导电能力最强.SEM结果显示,电极的稳定性得到了明显改善,且制备的片芯截面无裂纹、翘曲和分层现象.气敏测试结果表明氩气烧结显著提高了氧泵电极的灵敏度和稳定性.
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