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剂量测控系统设计若干优化考量
剂量测控系统设计若干优化考量
来源 :第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zoujing0505
【摘 要】
:
阐述了关于强流离子流入机剂量测探系统设计中若干技术问题优化措施。
【作 者】
:
陈毅功
【机 构】
:
科鹏微电子公司(深圳)
【出 处】
:
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
剂量
测控
系统设计
优化措施
技术问题
离子流
强流
量测
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阐述了关于强流离子流入机剂量测探系统设计中若干技术问题优化措施。
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