离子注入法制备β-C<,3>N<,4>的研究

• 作 者: 顾有松;潘礼庆;
• 机 构: 科技大学材料物理系和物理系
• 出 处: '96中国材料研讨会
• 发表日期: 1996年期
• 关键词: 离子注入法 氮化碳薄膜 超硬材料

该文采用在高纯石墨基片和碳膜中注入大剂量氮离子和退火处理的方法，制备了ＣＮ〈，Ｘ〉薄膜样品。对所制备的样品用俄歇电子能谱（ＡＥＳ），Ｘ光光电子谱（ＸＰＳ），喇曼谱（Ｒａｍａｎ）和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）等实验方法对样品的成分、化学态和晶体结构进行了深入分析。实验结果表明，他们已经用这种方法成功地制备了均匀的ＣＮ〈，Ｘ〉薄膜。薄膜中的碳、氮各以二种不同的共价键的形式存在。在所制备的ＣＮ〈，Ｘ〉薄膜中，观察到了β－Ｃ〈，３〉Ｎ〈，４〉和ｐ－Ｃ〈，３〉Ｎ〈，４〉二种晶相的Ｘ射线衍射谱。这表明已成功地在所制备的碳氮薄膜中合成了这二种碳氮化合物晶相的颗粒。