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电子束曝光机扫描场调整和测量
【机 构】
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院电工研究所
【出 处】
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第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会
【发表日期】
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1997年期
其他文献
主要介绍电子束曝光机中，对束斑进行数字化自动测量的基本原理，介绍束斑自动测量译标记的要求和设计，以及为实现束斑自动测量对数字硬件电路所作的特别设计。
介绍０．１微米矢量扫描圆形电子束曝光机的高性能磁偏转放大器的设计思想和技术措施，在保证扫描系统优良的输出线性前提下，取得高达２ＭＨｚ的扫描频率。
对电子束曝光机中的电子束自动聚焦、自动对中、自动消像散的物理模型进行了研究。提出了实施自动调整的方法。
为了企业的持续发展,扩大市场占有率,需要成立子公司.子公司的建立是企业发展的一个延伸,对企业发展起着促进作用.为了使子公司健康发展,对子公司的管理尤为重要,其中财务风